随着GaN半导体芯片行业的蓬勃发展,GaN功率器件在快速充电器、新能源汽车、数据中心等领域的应用日益广泛。据Yole Développement研究显示,预计到2022年该市场将成长到4.5亿美元,年复合成长率高达91%。其中硅基GaN器件凭借性能好、成本低、与CMOS工艺兼容等一系列优势,成为目前GaN功率芯片的主流。
气体质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制,大量应用于半导体领域。金属密封大流量气体质量流量控制器,在CVD、PVD、清洗机等设备上起着关键作用,但它的技术壁垒高、开发难度大,导致长期依赖进口。